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Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10649/731

Title: 光学式表面性状測定機を対象とした応答特性の評価法及び輪郭形状の計測限界に関する研究
Authors: 藤井, 章弘
Issue Date: 31-Aug-2014
Publisher: 長岡技術科学大学
language: ja
Contents Version: ETD
URI: http://hdl.handle.net/10649/731
Academic Degrees and number: 13102甲第711号
Academic Degrees and number: 甲第711号
Degree-granting date: 2014-08-31
Degree name: 博士(工学)
Degree-granting institutions: 国立大学法人長岡技術科学大学
Department and Graduate School of the degree examination: 工学研究科 情報・制御工学専攻
Degree Jury: 教授(主査)柳 和久、教授 打木久雄、教授 伊藤義郎、教授 明田川正人、埼玉大学准教授 塩田達俊
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